高能低温等离子氧化催化技术是一种先进的空气污染治理技术，它结合了低温等离子体技术和催化氧化技术的优点，具有能耗低，能源利用率高，高选择性，高净化率，应用便利等优势，在环境治理领域有广泛的应用前景。
低温等离子体系中电子在增强电场的作用下受到激励，这些高能电子与气体分子（O2，H20）发生碰撞，将气体分子激发到高能级。高能级分子由于量能增加导致键断裂，生产强氧化自由基·O，·OH，OH2。同时，VOC分子在高能电子的碰撞激发下，形成小脆片基团和原子。这些碎片基团和有机物分子在强氧化基团以及其他活性离子的作用下被去除，转化成CO2，H20以及其他降解产物。
